提供卓越的可重复性
功能丰富的 IC6 提供最佳测量精度
IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多独特的功能，可帮助您实现沉积过程的最大价值。 IC6 使用我们 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 A/s，是行业中的佼佼者。 IC6 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能，赋予您的过程卓越的可重复性。
功能概览
- ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
- Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
- 一个 IC6 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器。
- 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
- 10 Hz 测量
- 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
- USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
- 多个源厚度合计功能
- 测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积最多 30 秒）。
- 速率显示分辨率为 0.001/s
- 强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统（使用可扩展输入 (28) 和输出 (24 继电器，14 TTL 输出)，并充分利用逻辑语句（100 个逻辑语句）
- 可容纳最多 50 个过程，每个过程 200 层，总共可容纳 10,000 层
- 多路传感器可平均分配为 8 个传感器
- 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空电缆
- 无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环
- 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
- 可选以太网通信
- 符合 RoHS 标准
相关技术资料
产品样本和数据表:
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Brochure - Crystal 12 Sensor for Quartz Crystal Deposition Controllers
English
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Brochure - IC6 Thin Film Deposition Controller for Optical Applications
English
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产品目录:
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Catalog - Thin Film Deposition Controllers, Monitors and Accessories
English
| Chinese
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技术资料:
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Application Note - Auto-Z: A Path to Precise Control of Layer Thickness
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Mass Determination with Piezoelectric Quartz Crystal Resonators
English
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Reducing Process Variation Through Multiple Point Crystal Sensor Monitoring
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Technical Note - The Technology of the Intelligent Oscillator for Quartz Crystal Measurement and Advantages for Thin Film Processes
English
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操作及维修手册:
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 | | Learn more about the IC6 for Optical Applications |
|  | | Crystal 12 - Replaces crystals automatically without interrupting your process. |
|  | | Table of Density and Z-Ratio Values |
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