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Industrial Vacuum Coating

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> 射频传感技术
> 检漏仪
> 残余气体分析仪
> 电子束枪坩埚指数仪
> 真空元件
> 真空计
> 真空阀和气体计量系统
> 石英晶体传感器
> 石英晶体微天平研究系统 (RQCM)
> 石英监控器晶体
> 薄膜沉积控制器/监控器
 
•  Cool Drawer Dual Sensor
•  Cool Drawer Single Sensor
•  Crystal 12 Sensor
•  CrystalSix Sensor
•  Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller
•  Cygnus Thin Film Deposition Controller
•  DCM-250 Software
•  Front Load Bakeable Sensor
•  Front Load Dual Sensor
•  Front Load Single Sensor
•  IC/5 Thin Film Deposition Controller
•  IC6 Thin Film Deposition Controller
•  Q-pod Quartz Crystal Monitor
•  Quartz Crystals
•  RQCM
•  RSH-600 Rotary Sensor Head
•  SQC310 Thin Film Deposition Controller
•  SQM160 Multi-Film Rate/Thickness Monitor
•  SQM242 Thin Film Co-Deposition Controller Card
•  Sensor and Feedthrough Packages
•  Sputtering Sensor
•  XTC/3 Thin Film Deposition Controller
   
> FabGuard 软件套件



薄膜沉积控制器/QCM 测量仪器


INFICON 市场领先的薄膜沉积控制器、监控器和 QCM 测量仪器凭借无与伦比的测量速度和精度,可控制最复杂过程的沉积速率和厚度。 利用增强型软件和逻辑 I/O 的强大功能,可将我们的薄膜沉积控制器/QCM 测量仪器完全集成到真空系统,实现自动过程控制。 在控制复杂度较低的过程时,使用 INFICON 经济实惠的精密控制器、监控器和 QCM 测量仪器测量薄膜,测量精度比传统技术高出 100 倍。

INFICON 大部分基于晶体的仪器均采用了我们已获专利的测量系统 ModeLock,因而成为当今市场上最先进的仪器。

有关我们的薄膜沉积/QCM 仪器的详细信息。

了解 RQCM 仪器

浏览我们完整系列的薄膜沉积控制器、监控器、QCM 仪器和附件:

控制器
新产品! IC6 薄膜沉积控制器
SQC310 系列薄膜沉积控制器
XTC/3 薄膜沉积控制器
SQM242 薄膜共沉积控制器卡

监控器
SQM160 多膜速率/厚度监控器
Q-pod 石英晶体监控器

RQCM
RQCM 石英晶体微天平研究系统

软件
DCM-250 基于 Windows 的沉积控制软件

传感器和馈入件
传感器和馈入件组

晶体
石英晶体


Featured Product

IC6 薄膜沉积控制器提供卓越的可重复性 - 我们最新、功能最全面的控制器。




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传感器和馈入件包
为您的过程选择适当的传感器或馈入件。

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