Inficon





Worldwide


Industrial Vacuum Coating
>    射频传感技术   

Products:

> 射频传感技术
 
•  RFS100 RF Sensor
•  Sion RF Detector for Endpoint Control
•  Sion RF Detector for Plasma Arc Detection
   
> 检漏仪
> 残余气体分析仪
> 电子束枪坩埚指数仪
> 真空元件
> 真空计
> 真空阀和气体计量系统
> 石英晶体传感器
> 石英晶体微天平研究系统 (RQCM)
> 石英监控器晶体
> 薄膜沉积控制器/监控器
> FabGuard 软件套件



射频传感技术
为满足当今的半导体工具过程测量需求，INFICON 市场领先的射频传感技术结合射频传感器设计领域最新的技术进步和品质制造程序，打造了一系列独特的射频产品。 从电弧检测和腔室清洗终点控制等简单的应用，到预测建模的全频识别射频分析，INFICON 提供最佳的产品组合，满足您的射频传感需求。

用于终点控制的 Sion 射频检测器

用于等离子弧检测的 Sion 射频检测器

Featured Product

用于等离子弧检测的 Sion 射频检测器 - 超强超快地分析微弧




拍照了吗？ 将您工作现场使用INFICON产品的照片发给我们，我们将寄给您一份很酷的礼品！


FabGuard FDC 传感器集成与分析系统
在一个全集成式系统中完成采集、分析、阻止和报告

阅读更多信息。