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Residual Gas Analyzers (RGAs)
!! 殘餘氣體分析器!!

INFICON 殘餘氣體分析器作爲診斷工具，幫助過程工程師連續監控製造過程所産生的污染氣體，幷檢驗目標過程氣體的含量。

PPM422 等離子過程監控器

Transpector® 氣體分析系統系列儀器：

Transpector® 氣體分析系統系列儀器爲真空過程監控、過程診斷和泄漏檢測提供精確而可靠的數據。

Transpector 2 氣體分析系統

對污染控制具有超高靈敏度，爲半導體製造業的真空過程監控、過程診斷和泄漏檢測提供精確和可靠的數據。

Transpector CIS2 氣體分析系統

具有高級性能與控制功能的 Sub-PPM 現場氣體分析，使用封閉的離子源 (CIS) 檢測污染，檢出下限可達 PPM量級。

Transpector HPR 氣體分析系統

實現最佳污染控制的穩定靈敏性

Transpector XPR3 氣體分析系統

無需複雜壓力轉換的 PVD 壓力過程監控，以空前的靈敏度、準確性和靈活性監控物理氣相沉積 (PVD)過程。

Transpector CPM 緊凑型過程監控器

經濟型綜合氣體分析，非常適用于現場複雜過程監控的功能全、緊凑和經濟的氣體分析器。

Transpector 軟件

用于 Transpector 氣體分析系統的過程特性描述軟件

IPC400 泵組

設計可擴大取樣範圍的易用泵組。

Transpector CIS2 和 IPC400 系統的移動車

移動排除故障的自帶車

 

Featured Product

Transpector XPR3 Gas Analysis System: PVD process monitoring without complex pressure conversion



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Transpector CPM Compact Process Monitor
Economical gas analyzer ideally suited for in situ monitoring of complex processes.

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