薄膜蒸着コントローラーとモニター ‐INFICON

Industrial Vacuum Coating

> 薄膜析出コントローラ/モニター

Products:

リサーチ水晶振動子マイクロバランス (RQCM)

リーク感知機

残留ガス分析器

水晶モニター振動子

水晶振動センサ

真空バルブとガス注入システム

真空計

真空部品

薄膜析出コントローラ/モニター

•	Cool Drawer Dual Sensor
•	Cool Drawer Single Sensor
•	Crystal 12 Sensor
•	CrystalSix Sensor
•	Cygnus 2 Thin Film Deposition Controller
•	Cygnus Thin Film Deposition Controller
•	DCM-250 Software
•	Front Load Bakeable Sensor
•	Front Load Dual Sensor
•	Front Load Single Sensor
•	IC/5 Thin Film Deposition Controller
•	IC6 Thin Film Deposition Controller
•	Q-pod Quartz Crystal Monitor
•	Quartz Crystals
•	RQCM
•	RSH-600 Rotary Sensor Head
•	SQC310 Thin Film Deposition Controller
•	SQM160 Multi-Film Rate/Thickness Monitor
•	SQM242 Thin Film Co-Deposition Controller Card
•	Sensor and Feedthrough Packages
•	Sputtering Sensor
•	XTC/3 Thin Film Deposition Controller

電子ビーム銃クルーシブルインデクサー

FabGuardソフトウェア適応

RFセンシングテクノロジー

薄膜蒸着コントローラー/QCM計測機器

INFICONの市場をリードする薄膜蒸着コントローラー、モニターとQCM計測機器は、ほとんどの複雑なプロセスの蒸着率と膜厚を卓越した計測スピードと精度でコントロールします。強化されたソフトウェアと論理I/O機能が、薄膜蒸着コントローラー/QCM計測機器を完全に真空システムに統合させ、自動的にプロセスをコントロールします。あまり複雑でないプロセスコントロールするため、INFICONの経済的で、高精度なコントローラ、モニター、QCM計測機器を使って、従来の技術の100倍も正確に計測してください。

ほとんどのINFICONの振動子をベースにした機器は、特許取得の計測システムModeLockを採用しており、入手できる範囲の中では最も高度な装置を実現しました。

薄膜蒸着/QCM機器に関する詳細情報

INFICON RQCM機器について知る

当社の薄膜蒸着コントローラー、モニター、QCM機器、およびアクセサリの完全ラインを見る

コントローラー
新登場! IC6薄膜蒸着コントローラ
SQC310シリーズ薄膜蒸着コントローラ
XTC/3薄膜蒸着コントローラ
SQM242 薄膜同時蒸着コントローラーカード

モニター
SQM160マルチ蒸着レート/膜厚モニター
Q-Pod水晶振動子モニター

RQCM
QCM水晶振動子マイクロバランスリサーチシステム

ソフトウェア
DCM-250 Windowsベースの蒸着コントロールソフトウェア

センサとフィードスルー
センサおよびフィードスルーパッケージ

振動子
水晶振動子