残留ガス分析器 (RGAs)、INFICON

Industrial Vacuum Coating

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Products:

リサーチ水晶振動子マイクロバランス (RQCM)

リーク感知機

残留ガス分析器

•	Mobile Cart for Transpector CPM Compact Process Monitor
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector CPM
•	Transpector Software
•	Transpector XPR3

水晶モニター振動子

水晶振動センサ

真空バルブとガス注入システム

真空計

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電子ビーム銃クルーシブルインデクサー

FabGuardソフトウェア適応

RFセンシングテクノロジー

残留ガス分析計 (RGAs)

INFICONの残留ガス分析器（RGAｓ）は、汚染ガスの存在をつきとめ、希望のプロセスガスの存在を照合しながら製造プロセスを継続的に監視する、プロセスエンジニアのための支援診断ツールとして使用されます。

Transpector® 残留ガス分析器(RGAs)群
Transpector® ガス分析器は、真空プロセスの監視、プロセス、診断、リーク検出において、正確で信頼できるデータを提供します。

Transpector 2ガス分析システム
優れた感度で汚染をコントロール。このRGAは半導体製造において真空プロセスの監視、プロセス診断、およびリーク検出の正確かつ信頼性の高いデータを提供します。

Transpector XPR3ガス分析システム
複雑な圧力変換なしにPVDプロセス監視-このRGAは、前例のない感度と精度、および柔軟性で物理気相成長（PVD）プロセスを監視することができます。

Transpector CPM コンパクトプロセスモニター
総合的なガス分析がお手頃に。このRGAはフル機能を備えた、コンパクトでお手頃なガス分析器で、複雑なプロセスのin situ監視に理想的です。

Transpector ソフトウェア
Transpectorガス分析システムのプロセス特性評価ソフトウェア

Transpector CPM コンパクトプロセスモニタの可動型カート
モバイルトラブルシューティングのための内蔵型カート