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Tecnología de sensores de RF
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La tecnología de sensores de RF líder en el mercado de INFICON combina los últimos avances técnicos en el diseño de sensores de RF con procedimientos de fabricación de calidad, que permiten crear un rango único de productos de RF para satisfacer las necesidades actuales de medición de procesos de herramientas semiconductoras. INFICON ofrece el mejor catálogo de productos para satisfacer sus necesidades de sensores de RF, desde aplicaciones sencillas como la detección de arco o el control de punto de equivalencia de limpieza de la cámara hasta análisis de RF discriminados de frecuencia completa para modelado predictivo.
Detector de RF Sion para el control del punto de equivalencia
Detector de RF Sion para la detección de arco de plasma
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Sistema de análisis e integración de sensores FabGuard FDC
Adquisición, análisis, interceptación y notificación en un único sistema completamente integrado
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