Thin Film Deposition Controllers/QCM Measurement Instruments
Mit den marktführenden Dünnschichtabscheidungs-Controllern, -Monitoren und QCM-Messinstrumenten von INFICON kann in sehr komplexen Prozessen mit unübertroffener Messgeschwindigkeit und -genauigkeit die Abscheidungsrate und -dicke gesteuert werden. Dank der erweiterten Software und der umfangreichen logischen E/A-Funktionen können unsere Dünnschichtabscheidungs-Controller/QCM-Messinstrumente vollständig in das Vakuumsystem integriert werden und gewährleisten so eine automatische Prozesssteuerung. Zur Steuerung weniger komplexer Prozesse verwendet INFICON sparsame Präzisionscontroller, Monitore und QCM-Messinstrumente, die Beschichtungen 100-fach genauer als herkömmliche Verfahren messen können.
Die meisten kristallbasierten Instrumente von INFICON verwenden ModeLock, unser patentiertes Messsystem. Dies macht sie zu den momentan fortschrittlichsten Messinstrumenten.
