WIEDERHOLBARE PRÄZISION
Die IC6 bietet mit zahlreichen Funktionen größtmögliche Messgenauigkeit
Der IC6 Thin Film Deposition Controller bietet eine außergewöhnlich gute vergleichbare Leistung, da er die bewährte Qualität der Dünnschichtabscheidungs-Controller von INFICON mit einzigartigen Funktionen vereint. Diese Eigenschaften gewährleisten einen optimalen Abscheidungsprozess. Mithilfe von ModeLock, unserem Frequenzmesssystem, gewährleistet der IC6 stabile, hoch auflösende Raten- und Dickenmessungen mit einer in der Branche unangefochtenen Ratenauflösung von 0,00433 A/s pro 1/10-Sekunde. Kein anderer Quarzkristallcontroller bietet die Leistung, Qualität und Funktionalität des IC6. So lassen sich Spitzenleistungen immer wiederholen.
Features auf einen Blick
- Die ModeLock-Technologie bietet die besten und stabilsten Auflösungsraten und Dickenmessungen, selbst bei sehr niedrigen Raten.
- Auto Z verbessert die Dickengenauigkeit, indem das Z-Verhältnis automatisch bestimmt wird, sobald Material abgeschieden wird.
- Von einem IC6 können bis zu sechs Quellen simultan gesteuert werden, unabhängig voneinander oder in einer beliebigen Kombination, sodass keine zwei oder drei Controller mehr erforderlich sind.
- Auf der TFT-LCD-Farbanzeige können Sie Ihren Prozess auf einfache Weise nachverfolgen.
- 10 Hz-Messungen
- +/- 0,0035 Hz über 100 ms-Probe
- USB-Datenspeicherung für Screenshots, Rezepturspeicherung und Datenprotokollierung
- Dickensummierung von mehren Quellen
- Mittelwertbildung der Messraten für Materialien mit niedriger Dichte und äußerst niedriger Rate (bis zu 30 Sekunden bei der Verwendung mit stabilen Quellen für die Abscheidung von OLED-Dotiermaterial mit sehr niedriger Rate)
- Anzeigeratenauflösung von 0,001/s
- Leistungsstarke, flexible Eingabe/Ausgabe zur Integration in einfache oder komplexe Systeme mithilfe von erweiterbaren Eingängen (28) und Ausgängen (24 Relais, 14 TTL-Ausgänge) sowie Logikanweisungen (100 Logikanweisungen)
- Es können bis zu 50 Prozesse mit je 200 Schichten für maximal 10.000 Schichten erfasst werden.
- Mittelwertbildung für bis zu 8 Sensoren
- Die 4-Meter-XIU-Option ermöglicht in großen Systemen die Verwendung langer Kabel unter Vakuum.
- Nicht-Abscheidungssteuerung ermöglicht eine kontinuierliche Quellensteuerung, da Substrate die Abscheidungskammer durchlaufen müssen.
- 6 DAC-Standardausgänge, optional 6 zusätzliche Ausgänge für Quellensteuerung, Raten- oder Dickenüberwachung
- Optionale Ethernet-Kommunikation
- RoHS-konform
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Crystal 12 Sensor for Quartz Crystal Deposition Controllers
English
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Brochure - IC6 Thin Film Deposition Controller for Optical Applications
English
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Catalogs:
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Catalog - Thin Film Deposition Controllers, Monitors and Accessories
English
| Chinese
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Operations and Maintenance Manuals:
技术资料:
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Application Note - Auto-Z: A Path to Precise Control of Layer Thickness
English
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Mass Determination with Piezoelectric Quartz Crystal Resonators
English
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Reducing Process Variation Through Multiple Point Crystal Sensor Monitoring
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Technical Note - The Technology of the Intelligent Oscillator for Quartz Crystal Measurement and Advantages for Thin Film Processes
English
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 | | Learn more about the IC6 for Optical Applications |
|  | | Crystal 12 - Replaces crystals automatically without interrupting your process. |
|  | | Table of Density and Z-Ratio Values |
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