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RF Sensing Technology
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Die marktführende INFICON RF-Sensortechnologie vereint die neuesten technischen Entwicklungen im RF-Sensordesign und qualitativ hochwertige Herstellungsverfahren in einem einzigartigen Sortiment von RF-Produkten, die aktuelle Anforderungen an Messungen in Halbleiterprozessen erfüllen. Das umfassende RF-Produktsortiment von INFICON reicht von einfachen Anwendungen wie der Lichtbogenerkennung und der Kammerreinigungs-Endpunktsteuerung bis hin zur RF-Diskriminanzanalyse des gesamten Frequenzbereichs für prädiktive Modellierung.
Sion RF Detector für Endpunktsteuerung
Sion RF Detector für Plasmalichtbogenerkennung
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FabGuard FDC Sensor Integration and Analysis System
Erfassung, Analyse, Abschaltung und Berichterstellung in einem vollständig integrierten System
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