Residual Gas Analyzers (RGAs)
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Restgasanalysatoren (RGAs) von INFICON werden als Diagnosewerkzeug verwendet, damit Prozesstechniker einfacher kontinuierlich den Herstellungsprozess auf Gasverunreinigungen und das Vorhandensein des gewünschten Prozessgases überwachen können.
Die Transpector®-Produktreihe von Restgasanalysatoren (Residual Gas Analyzers, RGAs)
Transpector®-Gasanalysatoren liefern genaue und zuverlässige Daten für die Vakuumprozessüberwachung, Prozessdiagnose und Leckerkennung.
Transpector 2 Gas Analysis System
liefert genaue und zuverlässige Daten zur Vakuumprozessüberwachung, Prozessdiagnose und Leckerkennung bei der Halbleiterherstellung.
Transpector XPR3 Gas Analysis System
PVD-Prozessüberwachung ohne komplexe Druckwandlung; dieser RGA überwacht PVD-Prozesse mit beispielloser Empfindlichkeit, Genauigkeit und Flexibilität.
Transpector CPM Compact Process Monitor
Umfassende, kostengünstige Gasanalyse; dieser RGA ist ein kompakter und kostengünstiger Gasanalysator mit sämtlichen Funktionen für die lokale Überwachung komplexer Prozesse.
Transpector Software
Software zur Prozesscharakterisierung für das Transpector-Gasanalysesystem
Mobiler Wagen für den Transpector CPM Compact Process Monitor
Als eigenständiges System arbeitender Wagen zur mobilen Problembehebung
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Transpector CPM Compact Process Monitor
Kostengünstiger Gasanalysator, ideal geeignet für die In-Situ-Überwachung von komplexen Prozessen.
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